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表面分析

场发射扫描电子显微镜(SEM)(SU-8010)
仪器名称:场发射扫描电子显微镜(SEM)(冷场,X射线能谱仪)
仪器型号: SU-8010(能谱仪:牛津X-max80
国别、厂家: 日本日立公司

主要技术指标:
    分辨率: 1.0nm@15kV,1.3nm@1kV
    加速电压:0.1~30kV,0.1kV/步
    放大倍数:20~800,000倍,连续可调
    电子枪:冷阴极场发射电子枪
    检测器:高低位检测器可选择接收二次电子像或背散射电子像
    样品台:5轴马达驱动;最大样品直径100mm
    真空系统:具有高低真空功能,离子泵、涡轮分子泵、机械泵组成

主要附件:
    X射线能谱仪:大面积(80mm2)分析级SDD探头,MnK分辨率127eV;元素分析范围Be4~Cf98

主要功能及应用范围:
    该仪器具有超高分辨率,能观察各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像,配备超大窗口SDD探头的高性能X射线能谱仪,同时进行样品表层的微区点、线、面元素定性、半定量及定量分析,具有形貌、化学组分综合分析能力。与一般钨灯丝扫描电镜相比,它能以更高的分辨率观察固体样品表面显微结构和形貌,对金属、无机非金属、高分子、纳米等材料的表面超微结构形貌进行分析。

仪器安装地点:教十石化之家

仪器管理员:沈素丹

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