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表面分析

台式扫描电镜(SU-3500)
仪器名称:台式扫描电镜(SEM)(X射线能谱仪)
仪器型号: SU-3500(能谱仪:牛津X-max20
国别、厂家: 日本日立公司

主要技术指标:
    高真空分辨率: 二次电子像3.0nm@30kV
                  二次电子像7.0nm@3kV
                  背散射电子像:4.0nm@30kV
    低真空分辨率:背散射电子像:4.0nm@30kV
    加速电压:0.3~30kV,0.1kV/步
    放大倍数:5~300,000倍,连续可调
    电子枪:预对中钨灯丝电子枪
    探测器:高真空二次电子探测器,高灵敏5分割背散射电子探测器
    样品台:全电动5轴马达;可装载最大样品直径200mm,高度80mm
    真空系统:具有高低真空功能,低真空可变压力范围6Pa~650Pa

主要附件:
    X射线能谱仪:晶体有效面积≥20mm2,硅漂移SDD探头,MnK分辨率127eV;元素分析范围Be4~Cf98

主要功能及应用范围:
    该仪器具有超高分辨率,能观察各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像,配备超大窗口SDD探头的高性能X射线能谱仪,同时进行样品表层的微区点、线、面元素定性、半定量及定量分析,具有形貌、化学组分综合分析能力。
    与一般钨灯丝扫描电镜相比,它的低真空模式能够观察导电性能不好、或不喷金的样品的背散射电子像。

仪器安装地点:教十石化之家

仪器管理员:沈素丹

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